APCO

株式会社アプコ

APCO Ltd.

|  ホーム |  会社案内 |  製品紹介 |  採用情報

>お問い合わせ

小型電子線鏡筒

小型二次電子検出器

回転バイプリズムホルダ

低加速SEM・計測/解析用
電源ユニット

高性能ウェハ・マスク
破断装置

試料破断器

イオンポンプ用バックアップ
電源

ホーム製品紹介>低加速SEM・計測/解析用電源ユニット

低加速SEM・計測/解析用電源ユニット

弊社 超小型電子線鏡筒 MINI-EOC用の操作電源です
特殊仕様等のご相談にも応じております

用途に合わせて、各ユニットを自由に組合せられます

JISラック収納サイズ

超高安定

主な仕様

電子銃電源

加速電圧

0〜-5kV/200μA

フィラメント電流

0〜2.6A/0.5Ω on加速電圧

サプレッサ電圧

0〜-1kV on加速電圧

引出し電圧

0〜+5kV/200μA on加速電圧

コントロールレンズ電圧

0〜+1kV on加速電圧

アライメント電源

ブランカ

±15V

アライメント(8極1段)

0〜±24V(偏向・非点補正機能)

偏向器(8極2段)

0〜±135V(スキャン・偏向)

スキャンジェネレータ
二次電子検出器

スキャン信号

0〜±5V(SG波) (スキャン速度・倍率
回転機能・50/60Hz磁場キャンセル機能)

シンチレータ電圧

0〜+8kV

ゲイン(PMT)電圧

0〜-1.2kV

検出器電源

±8V

入力信号

±10Vp-p/10MHz

出力信号

NTSC

高圧電源

レンズ電圧

0〜-5kV

Copyright 2009 APCO.Ltd. All rights reserved.