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小型電子線鏡筒MINI-EOCは、Schottkyを用いた組込可能な電子線源で、低加速SEM・計測/表面解析用電子線として使用できます
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特殊仕様等のご相談にも応じております |
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MINI-EOC |
低加速電圧のSEM写真
試料：Cu400mesh（L＆S：32μｍ） |
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MINI-EOCは下記の特長があり、大電流や低加速を要求される計測や解析{LEED(低速電子回折法)、AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散型X線分光法)、EELS(電子エネルギー損失分光法)等}に応用可能です。また超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)と組み合わせて使用されています。特殊用途の鏡筒開発やコンサルティングも行っています。
*鏡筒のドライブには電源が必要です
*SEM用検出器として二次電子検出器も販売しております
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小型 |
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ICF114フランジと設置可能です |
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超高真空対応 |
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150℃までのベーキングが可能です |
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低加速観察が可能 |
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加速電圧5kV～数十Vまで観察可能 |
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大電流密度の電子線 |
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試料照射電流は最大10nA |
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静電型電極採用 |
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レンズ、偏向電極共に静電型を採用している為、高速応答可能 |
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電子銃仕切弁が構成 |
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電子銃室と試料室の間に電子銃仕切弁を内蔵している為、試料室を大気解放しても電子銃室の真空を維持できます |
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主な仕様 |
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加速電圧 |
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約30V～5kV |
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ビーム電流 |
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3×10-12～10-8A |
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最小ビーム径 |
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約10nm（加速電圧5kV,ビーム電流0.3nA,W・D＝8㎜時） |
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適用真空容器 |
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2×10-3Pa以下、ICF114ポートに取付 |
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重量 |
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約19kg |
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主な構成 |
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電子銃 |
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電子源:ZrO/W
SIP:20L/s
サプレッサー電極
エクストラクタ電極
コントロールレンズ
アノード
電子銃仕切弁
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ブランカ |
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静電4極型 |
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アライメント |
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静電8極型1段 |
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走査偏向器 |
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静電8極型2段 |
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対物レンズ |
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静電型 |
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シールド筒 |
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パーマロイ |
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