株式会社アプコ

1987年

会社設立

1988年

EPMA用SEM

1992年

研究開発用EB装置

静電型高分解能SEM

1992年

二次元原器製造用EB描画装置

1993年

マスク・ウェハ高精度破断装置

イオンポンプバックアップ電源

VME BUS Mini-EOC Driver

1995年

UHV対応Mini-EOC

粒子線鏡筒

1996年

観測ロケット搭載用電子銃

可変整形型EB描画装置用仕切弁

1997年

イオンスパッタ・プラズマコーター

1998年

電子銃用テスター電源

1999年

汎用SEM

Lab6用80kV超高安定電源

Mini-EOC要素技術開発

2000年

UHV対応SED

次世代低加速EB描画装置

描画装置用高エミッタンスFE電子銃

2003年

表面解析用拡大EOC

超高安定Mini-EOC Driver

特性X線検出器

SEM用収差補正検出器

2004年

超小型電子線源

ZrO/W輝度測定装置

潜像SEM開発

2005年

冷陰極FE電子銃テスト装置

2007年

CFE超高分解能SEM

2011年

回転バイプリズムホルダ