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小型二次電子検出器MINI-SEDはシンチレータタイプの検出器で、
電子銃等から試料に照射された時に放出されるエネルギーの低い二次電子(数十eV程度)を
捕獲し増幅して電気信号として出力します。
主に走査型電子顕微鏡用の検出器として使用されています。
関連特許
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小型 |
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コンパクトな設計な為、省スペースでの取り付けが可
能です(取付けフランジはICF70です)
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超高真空対応 |
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最大150℃のベーキングが可能で真空度1×10-2から
の使用が可能です |
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最高応答速度5Mhz |
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最大2×106の信号増幅が可能でpAからμAまでの電流検出が可能です(信号出力は1Vp-pです) |
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特殊仕様のご相談にも応じております |
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特殊仕様例 |
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ICF114 シャッター付 |
ICF70 先端長 50mm |
ICF70先端径 φ10mm |
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主な仕様 |
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量子変換方式 |
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シンチレータ型 |
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装置構成 |
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シンチレータ |
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P47 |
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光電子増倍管 |
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R9880U / 浜松ホトニクス社製 |
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ライトガイド |
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石英ガラス |
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プリアンプ |
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電流-電圧変換インピーダンス 20kΩ |
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適応範囲 |
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二次電子 |
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1pA〜1μA |
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応答速度 |
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5MHz / -3dB |
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最大増幅率 *(光電子増倍管ゲイン) |
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2×106 |
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出力 |
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出力電圧 |
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0〜1Vp-p |
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出力インピーダンス |
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75Ω |
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入力 |
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プリアンプ電源電圧 |
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DC±8V / 30mA |
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光電子増倍管電圧 |
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0〜-1kV / 300μA |
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シンチレータ電圧 |
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0 〜 +8kV / 10μA |
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対応環境 |
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真空度 |
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1×10-2Pa |
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最大ベーキング温度 |
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150℃以下 *(プリアンプ部分は除く) |
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取付け形式 |
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ICF70フランジ |
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寸法図
*寸法等の変更についてはご相談ください |
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*電源は構成には含まれておりませんので別途ご用意ください |
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推奨電源 |
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二次電子検出起用の電源も販売しております |
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機能 |
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Brightness, Contrast_SE, AMP_Filter |
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入出力 |
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プリアンプ電源電圧、光電子増倍管電圧
シンチレータ電圧、プリアンプ入力、SE出力 |
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