ブランケットウェハー・パターンウェハー

ブランケットウェハー・パターンウェハー

○国内・海外で加工、標準納期は２～４週
最小加工（販売）単位は２５枚～
リスト外の膜種／厚みご相談に乗ります

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１２インチ（３００ｍｍ）ＣＭＰ評価用シリコンウェハー

これらは、１２インチ（３００ｍｍ）のＣＭＰ評価用ウェハーの一例です。
成膜の種類や構成は、様々な組み合わせが可能です。

【ＣＭＰ評価用ウェハーのコスト削減例】
・ＣｕＣＭＰ　→　Ｃｕ層を厚くし、通常１ｕｍを４ｕｍに
・酸化膜ＣＭＰ　→　酸化膜層を厚くし、通常１ｕｍを２ｕｍに
　 ※ＣＭＰ評価回数が増やせます！

【ＣｕＣＭＰコンディショニングウェハー】
・コンディショニング　→　ウェハー形状の銅板（５Ｎ）使用
　 ※コンディショニング用ウェハーが不要となります！

※お問い合わせは、TOPページ下のメールボタンをクリック

８インチ（２００ｍｍ）ＣＭＰ評価用ウェハー

これらは、８インチ（２００ｍｍ）のＣＭＰ評価用ウェハーの一例です。
成膜の種類や構成は、様々な組み合わせが可能です。

【ＣＭＰ評価用ウェハーのコスト削減例】
・ＣｕＣＭＰ　→　Ｃｕ層を厚くし、通常１ｕｍを６ｕｍに
・酸化膜ＣＭＰ　→　酸化膜層を厚くし、通常１ｕｍを２ｕｍに
　 ※ＣＭＰ評価回数が増やせます！

【ＣｕＣＭＰコンディショニングウェハー】
・コンディショニング　→　ウェハー形状の銅板（５Ｎ）使用
　 ※コンディショニング用ウェハーが不要となります！

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200mmパターンウェハー CMP評価用

300mmパターンウェハー CMP評価用

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