・マクロスコープ→　　　　　　　　　　　　
　　シリコンウェハー表面を一視野で観察可能
・ミクロスコープ→気になる箇所を自在に観察
・位相差顕微鏡→透明被写体観察用途向き
※何れもカスタマイズ可能

ウェハーやガラス基板上の目に見えない微少な欠陥を見えるようにしたのが、スクラッチ・マイクロスコープ
従来の顕微鏡では見えなかった微少なスクラッチが観察できます
マイクロスクラッチ、極浅スクラッチ、ハンドキズ、結晶欠陥、等々が容易に観察できます
ウェハーやガラス基板の研磨後のチェックに力を発揮します
※熟練したテクニックなど必要ありません

最大径１２インチ（Φ300mm）の大きな試料まで観察できるスーパーマクロ観察システム。
顕微鏡の常識を超えた超マクロ観察が可能となりました。
シリコンウェハー表面のウォーターマークやディンプル等のマクロ欠陥が容易に観察できます。
視野は広く、最大１２インチ径ウェハーを一視野の表面観察が可能です。
ミクロ的にはウェハー検査装置やＡＦＭで見れていましたが、マクロ的に見る方法はこれまでありませんでした。
検査装置の多くは0.1umのパーティクルが見えるとか微細化の方向に向いて開発がされてしまい、マクロ的な検査には無関心で取り残されてしまっていました。一つの盲点でした。
逆に言うと、ミクロ的に見る装置ではマクロ欠陥を見落としてしまっていた訳です。

下の画像は、見た目は鏡面に見えるウェハーをスーパーマクロ観察したものです。

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マクロスコープ・ミクロスコープ画像の一例です。
スジ状ウォーターマーク、斑点状ウォーターマーク、エッジキズ、スリキズ、ディンプル、突起、等々
が容易に観察可能です
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観察対象が透明な場合、通常の顕微鏡では観察が難しく、着色したりと手間がかかります。
液晶表面のウォーターマーク／異物／汚れ／キズが容易観察できます。
液中の不純物観察にも効果を発揮します。
倍率：最大モニター倍率は３０００倍

液晶表面の汚れ画像：






















その他、おもしろい使い方として、
世の中を騒がせている「レジオネラ菌」の観察や
血液の状態、サラサラかドロドロかを見ることができます。

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