洗浄液(洗浄方法、イオン水、各種)
○洗浄液(洗浄方法、イオン水、各種)
○洗浄コンサルティング
○スラリー除去
○スケール除去
○水垢除去

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 洗浄コンサルティング

@どのような汚れで困っているのかを把握

Aどのような方法が有効なのか洗浄方法を検討
(物理的・化学的・洗浄方法・洗浄液)

B検討した洗浄方法で実際に洗浄試験を実施

C現場に即した洗浄方法を提案し検証

D洗浄方法の確立

E洗浄方法の機械化・自動化

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 冷却水配管・チラー・クーリングタワー洗浄例

日頃あまり関心のない冷却水配管、また純水を使用しているからといって全くメンテナンス(洗浄)していないチラー、メンテナンス皆無のクーリングタワー。

これらは、メンテナンス(洗浄)不要と思われがちですが、洗浄しないと大変なことになります。

純水は不変(汚れない)と思っている人は、考えを改めてメンテナンスを行うことを奨めます。
被冷却対象の装置内部には思わぬ汚れが堆積しています。
その結果どのような事が起こるか、
・拡散炉の温度ムラ
・CVD装置の面内均一性の悪化
・チラーの温度制御不安定、過負荷
等々の事態に陥り、最後には冷却水配管の詰まりを生じて装置がダウンすることとなります。

「備えあれば憂いなし」、定期的な洗浄を行いましょう!

※出張洗浄サービス行います。
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 CMPヘッド洗浄例

微細化の進んだ半導体デバイスには必要不可欠となったCMP工程。CMPで使用するスラリー(研磨剤)は付着して固まると厄介なもの。気づくと知らないうちにこびり付いてしまっています。
このこびり付いたスラリーをきれいに落とすことは至難の業です。経験したことのない人はわからないつらさがあります。
このガンコな付着スラリーを簡単に落とす方法とは?

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注)洗浄の請負サービスも可能です。


 こんな頑固な汚れも洗浄できます

スラリー(研磨剤)がこびりついた汚れ。
どうしようもないと諦めるか、根性を出して洗浄するか?
やろうと思えばできます!
この洗浄方法についてご興味があればお問い合わせください!
イオン水洗浄剤+αで可能です。

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 シリコンウェハー/化合物半導体ウェハー/ガラス基板用洗浄液

−以下のような問題に効果を発揮します−
液晶ガラス基板やシリコンウェハーを研磨する時には、スラリー(研磨剤)を使った磨きが一般的ですが、磨いた後に洗浄機で洗ってもスラリーが残ってしまいきれいにならないことがあります。
ミクロレベルではかなりの数のスラリー残渣が残っており、何度も洗ったり手作業で取り除いたりと手間がかかります。何のための洗浄機かわからなくなります。

−使用方法−
ガラス基板やシリコンウェハーを洗浄機で洗う前に、「イオン水洗浄液」に30分浸す。
その後、今までどおりに洗浄機で洗ってみてください。驚くほどの洗浄効果が確認いただけます。
当然ながら再洗浄の必要がなくなり、大幅な省力化が見込めます。

−特徴−
シリコンウェハーやガラス基板に付着したスラリーやゴミ・異物をとり易くする効果があります。
受入れ洗浄や上の例のような研磨後の洗浄に効果があります。
洗浄液は使用後、フィルタにかければ2度3度使用できますし、冷暗所に保管すれば長持ちします。
廃棄する際には、原料が水なのでそのまま排水口に流せ、環境にやさしい洗浄液です。

−洗浄方法について−
洗浄する対象物によりって最適な洗浄方法は違います。最適な洗浄方法や最適な洗浄液につぃてのご相談は随時お問い合わせください。オリジナルな洗浄機を作ったり、オリジナルな洗浄液を作ったりと対策を考えご提供いたします。

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  イオン水洗浄液を製造していただいてます

 ファーストダック
 スラリー、スケール用洗浄液を製造。
 人・環境に優しい洗浄液です。危険物・劇毒物・PRTR法に該当しません。


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