高周波電源
発振周波数：50KHz〜60MHz 出力：300W〜15KWまで多様なラインナップでお答えします。
ADVANCED ENERGY
SEREN
LG series |
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DC電源
マグネトロンスパッタ用DC電源・バイアス用DC電源・常圧電源を取り揃えています。
EN Technologies |
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DCパルスパワーコントローラー
パルス機能のない普通のDC電源を接続することにより、最新のパルスコントロール技術を駆使した電源へとグレードアップします。
SHENCHANG ELECTRIC |
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整合器
インピーダンス整合に必需品の整合器は、弊社の持つ経験とノウハウにより、様々な周波数、電力、負荷形式、アプリケーション特性に対応します。
B Series Matching Box
F Series Matching Box |
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高周波電力計
高精度を実現。読取値の±1％（10KWまで）MAX 50kWまで通過型で測定可能です。
パワーに合わせてコネクタが選択できます。
バッテリー駆動で12時間動作可能。
USB接続でPCにデータを取り込めます。
Power Meter |
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フェイズシフター
本自動フェイズシフタは、オートモードで複数電源を同期運転するシステムの基準となるプラズマ用電極と、それ以外の電極に発生するRF電圧の位相差を自動的に一定の値にします。
Phase Shifter |
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ヒーター用フィルター
ヒーター用フィルターは電極につながるDC電源を高周波成分から防ぎます。
ヒーター用フィルター |
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光ファイバー温度計
接触式光ファイバー温度計は、高電磁界下において電磁界の影響を受けることなく正確な温度計測を行えます。
Neoptix 光ファイバー温度計
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ハロゲンフィルター
使用済みのハロゲンガスを捨てる場合に、APIのハロゲンフィルターを通して廃棄すると安全です。
高腐食性の（ フッ素、塩素、臭素、などのハロゲンガスとHC1のような酸性ガス ）は、人体に有害であるだけでなく、周辺の機器類や排気設備などにも害を与えます。
API のハロゲンフィルターは、取扱が容易で経済的です。
ハロゲンフィルター
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技術情報
高周波電源をお使いになるにあたっての様々な技術情報やよくある疑問・質問にお答えします。
技術情報
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