ADVANCED ENERGY 社製 高周波電源
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RFパワージェネレーター CESARシリーズ
周波数 40〜500KHz ，1〜4MHz ， 13.56〜60MHz
パワー出力範囲 300W〜5KW
プラズマプロセスのニーズを満足させる究極のRF電源
堅牢：最大出力の40％までの反射電力を許容
優れたパワー変換効率（８０〜８５％）
低い動作温度により、抜群の長寿命
小型・軽量
アナログインターフェイスとシリアルRS２３２、EthernetまたはProfibus |
| モデル名 |
周波数 |
定格出力 |
冷却方式 |
外形寸法（Ｗ×Ｈ×Ｄ） |
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CESAR 133
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13.56MHz
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300W
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強制空冷
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19″×約88mm×500mm
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CESAR 136
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13.56MHz |
600W
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強制空冷
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19″×約88mm×500mm
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CESAR 1310
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13.56MHz |
1000W
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強制空冷
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19″×約88mm×500mm
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CESAR 1312
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13.56MHz |
1200W
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強制空冷
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19″×約133mm×500mm
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CESAR 1320
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13.56MHz |
2000W
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水冷
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19″×約133mm×550mm
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CESAR 1325
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13.56MHz |
2500W
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水冷
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19″×約133mm×550mm
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CESAR 1330
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13.56MHz |
3000W
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水冷
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19″×約133mm×550mm
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CESAR 1350
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13.56MHz |
5000W
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水冷
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19″×約133mm×550mm
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13.56MHz以外の周波数は当社までご相談ください。
ＬＦパワージェネレーター ＬＦＧＳシリーズ
ＬＦＧＳシリーズは周波数可変電源で次の周波数レンジをご指定いただけます。
Ａ ： 40-80KHz , Ｂ ： 80-150KHz , Ｃ ： 150-300KHz , Ｄ ： 300-500KHz
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モデル名
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定格出力
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冷却方式
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外形寸法（Ｗ×Ｈ×Ｄ）
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LFGS 1250
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1250W
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強制空冷
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19″×約89mm×585mm
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この他にも多数取り揃えておりますのでお問い合わせください。 |
