EN Technologies社製 DC/DCパルス電源
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高い信頼性
＊ 非常に安定している垂下特性のトポロジ
＊ 32ビットDSPにより高速・高精度コントロール
＊ 最小化された出力リップルとシステム･エネルギー
＊ 小さなインターフェランスとノイズ
＊ モジュラー化と部品点数の最小化と最適化によりトラブルを最小限に
＊ 入力電圧サグ(一時的垂下)に対し高い耐性
優れたアーク･コントロール
＊ 最小化されたアーク･エネルギー(0.5mJ/KW)
＊ 急激な負荷変動に対し優れた制御性能
＊ 低リップルと低蓄積エネルギー
＊ 可変レシピ･パラメータ（アーク･レベル、シャットダウン･ディレイ･シャットダウン･タイム）
優れた性能
＊ 広範囲な動作（最高出力を４:１の出力インピーダンス･レンジで）
＊ 並列運転により160KWまで拡張
＊ 進んだ点火特性(点火電圧を自動制御)
ロー・ノイズ＆イージー･メンテナンス
＊ ノイズとリーク電流はEMIフイルタと部品間のシールドにより低減
＊ 負荷のアークまたは短絡が及ぼす入力システムへの影響を最小化
＊ モジュラー・デザインにより品質管理とイージー･メンテナンスを実現
＊ ２次的な故障を防ぐ回路によりリペアーを最小限に
＊ シンプルな装置構造と最小限の配線数 |
スパッタ用DC電源EnerStream
モデル： EnerStream 5 ：5KW, 800VDC(点火電圧1500VDC), 6.2A@800VDC〜12.5A＠400VDC
モデル： EnerStream 10 ：10KW, 800VDC(点火電圧1500VDC), 12.5A@800VDC〜25A＠400VDC
モデル： EnerStream 15 ：15KW, 800VDC(点火電圧1500VDC), 18.7A@800VDC〜37.5A＠400VDC
モデル： EnerStream 20 ：20KW, 800VDC(点火電圧1500VDC), 25A@800VDC〜50A＠400VDC
スパッタ用電源EnerStream 20
イオンビーム用電源
モデル： Forte I-302 ：6KW, 0.3〜3KV, 2A
イオンビーム用電源Forte-I302
シングル・ターゲット・マグネトロンDCパルス電源
モデル ： EnerPulse 10 ：10KW, 1KV, 20A, 20KHz〜150KHz
シングル・ターゲット・マグネトロンDCパルス電源EnerPulse 10
バイアス用DC電源
モデル ： Hercules 10 ：10KW, 8.3A@1200V〜33.3A@300V
モデル ： Hercules 20 ：20KW, 16.7A@1200V〜80A@250V
バイアス用DC電源Hercules 20
常圧プラズマ放電用電源
モデル ： Genius 2 ：2KW, 2〜15KV, 10〜60KHz
モデル ： Genius 6 ：6KW, 2〜15KV, 10〜60KHz
モデル ： Genius 10 ：10KW, 2〜15KV, 10〜60KHz
常圧プラズマ放電用電源Genius 10
真空アーク & HCD用電源
アークカソード用電源
モデル ： IDU-200N ：10KW, 50Vまたは70V, 0~200A DC、パルス(1〜500Hz)
 
IDU-200N とプラズマの画像
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