Fシリーズ インピーダンス自動整合器
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周波数範囲 50KHz〜100MHz
電力範囲 100W〜20KW
概要
プラズマ用自動整合器は、高周波電源とプラズマ・インピーダンスを整合し、最大の電力をプラズマ負荷に投入するために使用されます。
特長
高速・高精度整合
ステッピングモーター採用で可変素子の高速動作を実現。マルチCPU化とサーボ回路で、万が一脱調が起きても自動で補正します。独自のアルゴリズムにて高速・高精度整合を実現します。また、負荷特性により自動整合が困難な場合にも各種パラメーターにより柔軟に対応できます。
プリセット
６チャンネルのプリセット機能にてチャンネルごとのオフセット・デッドバンド機能を設定できます。
フロント・パネル・コントロール
LCDより高輝度・高視野角に優れる蛍光表示管(VFD)を採用しました。また、操作・制御・設定等のメニューを階層化することにより、直感的な操作を実現しました。
幅広い電源入力電圧に対応
コントローラーは整合器動作用電源にもなっており、AC100V〜AC240Vまでの幅広い電圧に対応しています。
高速整合（1秒以内、社内試験データ）
高精度整合（０．４％以内、社内試験データ）
ステッピングモーターを使用（ブラシレスのため長寿命）
オート・プリセット
整合素子位置表示
負荷インピーダンス表示（計算値）
リモートコントロール（アナログ、ＲＳ２３２）
オプション
次のオプションがご利用いただけます。
ＤＣバイアスプローブ／ＲＦ電圧プローブ
高調波除去フィルター
２周波方式用結合フィルター
電極ヒーター用ノイズ除去フィルター
熱電対用高周波ノイズ除去フィルター
応用
プラズマエッチング
ＲＩＥ
プラズマＣＶＤ
ＲＦスパッタリング
バイアス用電源
イオン・プレーティング
その他プラズマ処理一般
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| モデル |
周波数 |
最大定格入力 |
冷却 |
入力コネクタ |
出力コネクタ |
概略寸法 W×D× Hmm |
| FH-5 |
13.56MHz |
500W |
強制空冷 |
N-R |
銅板 |
194×380×185 |
| FH-12 |
13.56MHz |
1.2KW |
強制空冷 |
N-R |
銅板 |
194×380×185 |
| FH-30 |
13.56MHz |
3KW |
強制空冷 &
水冷 1/4”
流量2L/min |
DIN-R 7/16 |
銅板 |
194×380×185 |
| FL-10 |
300KHz〜1MHz |
1KW |
強制空冷 |
N-R |
HN-R |
250×410×200 |
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