プラズマ用可変低周波電源 ＬＧシリーズ
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近年、半導体や各種薄膜利用部品のより一層の微細パターン化、多品種化に伴い、より精密で、より多彩なプラズマプロセスが要求されています。要求されるプラズマ所理の精度、スループット、再現性を得る為には、適切なプラズマ励起周波数の選定とともに波形飽和が無く、高調波の少ない安定で良質な高周波電界を与えることが重要な要素の一つとなります。
ＬＧシリーズは、これらの要求に完全に応えられる特性と信頼性を提供する低周波電源です。また、LGシリーズは、プラズマプロセスの他にその広い周波数レンジ・カバーを生かし、レーザー、フェライト・コア、放電管などの試験・実験用に使用されています。 |
特徴
最大出力時でも出力波形が飽和しないため、プラズマ・チャンバの電極間に十分な高周波電界を発生。
有害な高周波出力を抑制
超広帯域な周波数レンジ・カバー
高い出力安定度１％
コンパクトサイズ
出力周波数を１ＫＨｚステップで可変
応用
プラズマ・エッチング、プラズマＣＶＤ、ＲＦスパッタリング、RIEなどの各種プラズマプロセス
周波数依存性の実験
高周波励起レーザー
フェライト・コアなどの試験
高周波励起放電管の研究開発
可変周波数範囲：50KHz〜1.6MHz，200KHz〜1.999MHz，500KHz〜9.999MHz（特注品）
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モデル名
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定格出力
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冷却方式
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外形寸法（Ｗ×Ｈ×Ｄ）
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LG-1.5S（固定周波数）
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150W
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強制空冷
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482mm(19'')×150mm×352mm
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LG-5S
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500W
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強制空冷
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482(19'')×190×350
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LG-10S
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1KW
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強制空冷
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482(19'')×200×490
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LG-20S
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2KW
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強制空冷
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482(19'')×400×520
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LG-30S
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3KW
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強制空冷
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570×1050×450
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LG-5S
LG-10S
LG-30S
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