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SHENCHANG ELECTRIC社製　DCパルス・パワー・コントローラー DCパルスパワーコントローラー　SPIK1000A 本機はアイソレートされた出力を持ったパルス機能のない普通のDC電源を接続することにより、最新のパルスコントロール技術を駆使した電源へとグレードアップします。本機は可変のパルスコントロールパラメータを設定することで、種々のアプリケーションに最適な出力波形が得られます。クイックアークレベルコントロール機能は2μs以下のアークサプレッションで動作し、製品をアークダメージから保護します。対称波形電圧バイポーラ出力はもちろん、２台のDC電源を使うことで非対称波形電圧バイポーラ出力が得られます。この新しいパルスパワーコントロールのコンセプトは、貴社のアプリケーションに最良の結果をもたらす可能性があります。 特長 最高繰り返し周波数50KHz 高密度プラズマの実現 オンタイム、オフタイムを最適値に個別に設定 2μs以下のクイックアーク検出とサプレッション 種々の動作モード：DC+、DC-、UP+、UP-、BP 通常のDC電源をパルスパワーコントロールへとアップグレード ２台のDC電源を使い高電力非対称バイポーラ パルス出力 １台のDC電源を使い高電力対称バイポーラ／ユニポーラ パルス出力 出力電力： ●±30KWパルス(±3KWDC) ●±60KWパルス(±6KWDC) ●±100KWパルス(±10KWDC) ●±200KWパルス(±20KWDC) 出力電圧： 0〜±1000Vパルス(1000VDC) パルス周波数：0.05Hz〜50KHz パルスタイム：バイポーラ、ユニポーラ共　ton(±)5μS〜9900mS toff(±)5μS〜9900mS アプリケーション デュアルまたはシングル・マグネトロンスパッタリング プラズマＣＶＤ PVDバイアス プラズマナイトライディング プラズマディスミア 表面クリーニングとアクチベーション エッチングバイアス マテリアル ＳｉO2 TiO2 Al2O3 ITO Ta2O5 SnO2 TiN TiCN CrN WO3

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