ファインセラミックス製ガイドレール■リニアガイド・クロスローラガイド・リニアステージ ｜　HOME　｜　精密加工：リニアガイド　｜　セラミックス特性　｜　セラミックスQ&A　｜　会社案内　｜　設備案内　｜　お問い合わせ　｜　 ■ファインセラミックス製クロスローラーガイド ステージ部およびクロスローラガイド部を、ファインセラミックス化（アルミナ・窒化珪素）することにより、”高精度・耐環境製”を実現しました。 クロスローラガイド（窒化珪素製）単体からユニットまで、ご要望に合わせた仕様で製作いたします。 <<特徴>> 高精度、錆びない、軽量かつ高強度という特性を持つファインセラミックスの特性を十分に生かし、真空環境用・耐食用・高温用・非磁性対応・絶縁対応など、従来の製品では使用できなかった環境下において、幅広く使用できます。 <<用途>> 半導体製造工程、液晶製造工程、光学機器、各種精密リニアステージなど ファインセラミックス製クロスローラガイド製品 ジルコニア製クロスローラガイド 窒化珪素製 クロスローラガイド ■超音波リニアステージ 【リニアステージ拡大図】 駆動部分は、従来の主流はスチール製ですが、駆動部分にファインセラミックス製クロスローラガイド使い、軽量で熱膨張が低くなっております。 制御装置などと組み合わせて位置決めなどに利用します。 ガイドレールの長さ２０×幅１５ミリ〜３００×２００までを製作、それ以外の規格も要望に応じて作成いたします。 コストが高い窒化珪素をクロスローラガイドのみに利用し、ガイドレールはアルミナにすることもできます。 <<特徴>> ●駆動系にイスラエルのナノモーション社製の超音波モーターをリニアステージに採用した結果、電磁モーターに比べ小型軽量で、ボールねじもなく、リニアステージ重量を大幅に削減しました。 ●ダイレクトドライブの摩擦駆動により、高精度を実現しました。 ●超音波モーターなので、停止時の振動がなく、音も静かです。 ●立ち上がり時間は数msと応答性に優れ、ステップの細かい位置決めに最適です。 ■このホームページの企画・製作ならびに運営はサイバーナビ株式会社のＷＥＢプロモーションサービスを利用して行っております。