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集束イオンビーム装置 (FIB; Focused Ion Beam
Processing) |
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ＳＭＩ8300、9800、2200 |
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・半導体、金属、プラスチック、等の表面観察及び断面観察
・金属面のグレイン観察
・半導体試料の配線変更
（アルミ配線の切断及び接続）
・透過型電子顕微鏡用試料の作成 ・微細加工
（ミクロンオーダー） |
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【ＦＩＢ装置（2200）】
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二次イオン質量分析装置 (SIMS; Secondary Ion Mass
Spectrometry) |
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＜SIMSの原理＞
まず集束イオンビーム（一次イオン）を試料の特定の場所に照射し、そこから原子をはがし取ります。はがし取られた成分には、正・負のイオン（二次イオン）が含まれ、この質量を分離して測定する方法が二次イオン質量分析(SIMS)です。
SIMSでは、水素からウラニウムまでをppmからppbの検出感度で、定性分析、二次元的な元素分布調査・深さ方向分析の測定が出来ます。
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オージェ電子分光分析装置 (AES; Aeger Electron
Spectrometry) |
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オージェマイクロアナリシスは、オージェ電子分光法、イオンスパッタリング法、二次電子像観察などを組み合わせて、個体表面微小領域の二次元、三次元的な元素の分布形態や幾何的形状などを総合的に調べる分析手法です。
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4.
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X線マイクロアナライザー (EPMA; Electron Prode
Micro Analyzer) |
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EPMAは細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、表面の組織、形態の観察とミクロンオーダーの微小部分の非破壊分析を行う装置です。
EPMAでは、各種材料の腐食調査、メッキ品の成分分析、フィルター捕集異物の組成分析、電子材料欠陥部の分析、元素分布調査など様々な分析・調査を行うことが出来ます。
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5.
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走査型プローブ顕微鏡 (SPM; Scanning Probe Microscope) |
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【ＡＦＭ、ＭＦＭ、ＦＦＭ、…】 |
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走査型プローブ顕微鏡とは、探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、局所特性の観察及び計測を行う装置です。この物理的相互作用には、原子間力、磁気力、摩擦力などがあります。また、大気中、溶液中、真空中の様々な環境において測定が可能であり、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が出来ます。
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【ＳＰＭ】
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有機化合物および一部の無機化合物の分子構造、組成の解析を行い、主に未知試料の同定に用います。
顕微鏡ユニットで赤外光を絞り込み、微小試料の測定も可能です。 |
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7.
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X線回折装置 (XRD; X-ray Diffractometry) |
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物質は、それぞれ特有な結晶構造をもつためＸ線回折法により構造、状態の解析、 定性、定量及び同定などが出来ます。例えばアスベストの定性・定量・応力解析・単結晶方位等々。
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8.
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熱分析システム (TA; Tharmal Analysis) |
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【ＤＳＣ、ＴＧ/ＤＴＡ、ＴＭＡ】 |
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熱分析とは、物質の温度を変化させながらその物質のある物理的性質の温度依存を測定する技法です。
DSCは、試料の融解、ガラス転移、熱履歴、結晶化、硬化、キュリー点等の分析や比熱の測定に利用できます。 TG／DTAは、試料の水分量、灰分量の分析や分解、酸化、耐熱性の評価などに利用できます。
TMAは、試料の膨張率、ガラス転移、軟化点の測定等に利用できます。
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【ＴＡ装置】
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9.
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誘導結合プラズマ分光分析装置（ICP；Inductive Coupled
Plasuma） |
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液体中の金属成分を分析するもので、金属性不純物や組成・含有量の定性・定量分析に対応します。排水・公共水域水や土壌・産業廃棄物などの環境関連規制に対する分析などの他、品質管理面での微量金属成分の確認等も可能です。
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【ＩＣＰ装置】
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10.
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ガスクロマトグラフ質量分析（GC/MS；Gas Chromatography/Mass
Spectrometry） |
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有機・無機性のガス状成分を分析するもので、既知成分の濃度定量のほか、未知成分の同定解析も可能です。それを利用して不良（故障）解析事例に用いたり、環境関連規制では、揮発性有機成分や農薬などの分析にも用います。
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11.
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ガスクロマトグラフ各種（GC；Gas Chromatography）
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【TCD、ECD、FID、…】 |
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有機・無機性のガス状成分を分析するもので、混合成分の組成分析の他、成分既知であれば濃度定量も可能です。発生ガスの濃度測定の他、排水、公共水域水に代表される各種環境関連規制に対する分析にも用います。
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12.
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イオンクロマトグラフ（IC；Ion Chromatography）
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水溶液中のイオン成分を測定する装置で、ガス状試料は捕集液にトラップしてから測定します。微量濃度の分析が可能なため、表面汚染といった清浄度測定や工程水の不純物測定など、品質管理面での利用も可能です。
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13.
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高速液体クロマトグラフ（LC；Liquid Chromatography）
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熱的変化を受けやすい成分やイオン性成分といった液体試料の組成分析が可能の他、成分既知であれば濃度定量も実施出来ます。排水・公共水域水に代表される農薬などの各種環境関連規制に対する分析にも用いています。
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・情報技術装置などの不要電磁波測定。
・電磁妨害に関するコンサルティング。
・FCC提出の測定レポート作成及び申請業務。
等々が出来ます。
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【EMI測定サイトの写真】
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15.
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透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ） |
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16.
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原子吸光分光度計 |
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