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 コンフォーカル顕微鏡の特徴 |
コンフォーカル（共焦点）顕微鏡は、試料表面の微細部分の色・形状まで正確に再現できます。
高低差のある試料もすべての部分に完全に焦点を合わせた画像が得られるため、ボケやにじみがなく、くっきりとした画像が得られます。 |
フレキシブル基板 |
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| コンフォーカル顕微鏡 OPTELICSシリーズ |
 3CCDリアルカラーコンフォーカル顕微鏡 『OPTELICS H1200』 |
コンフォーカル顕微鏡で初めて３ラインCCD(R・G・B)搭載。
R･G･B各400万画素の画像を合成し、1200万画素のカラーコンフォーカル画像を出力します。 |
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＜用途＞
各種材料の観察・計測
（半導体、液晶パネル関連材料、金属材料、セラミックス材料、高分子材料、生物試料等） |
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ＮＥＷ！
大型サンプル対応ゲートタイプ 『OPTELICS H1200G』 |
Z粗動ストローク150㎜、パネル基板検査のために、門柱型鏡基（ゲート）に3CCDカラーコンフォーカル顕微鏡H1200ヘッドを取り付けました。
＜用途＞
液晶パネル、太陽電池パネル、300㎜ウエハー、ガラス基板、感光ドラム、重量のある金型などの検査 |
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ＮＥＷ！
300㎜ウェハー対応ナノ測定顕微鏡 『OPTELICS H1200A-E350』 |
150㎜、200㎜、300㎜ウェハー用検査のために、3CCDカラーコンフォーカル顕微鏡H1200と小型対物レンズ型AFMを組み合わせました
＜用途＞
150㎜、200㎜、300㎜ウェハーの検査 |
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ＮＥＷ！
基板自動検査・測定顕微鏡 『OPTELICS H1200AUTO』 |
コンフォーカル顕微鏡H1200の最高120F/secの高速フレームレートを活かした自動検査機。
従来の手動・目視の検査を大幅に省力化。
＜用途＞
バンプ、液晶パネルのリブ測定、MEMSパターン、素材の表面粗さの測定
マスク、ウエハー、ガラス、プラスティックなどあらゆる基板の検査 |
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| ナノスケールコンフォーカル顕微鏡 『OPTELICS S130IF』 |
コンフォーカル顕微鏡とミラウ干渉測定システムのコラボレーション。
コンフォーカル顕微鏡の高解像度画像と干渉計の高分解能Zデータを同時に取得できます。
＜用途＞
各種材料の表面ミクロ構造の観察、計測、評価 |
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| リアルカラーコンフォーカル顕微鏡 『OPTELICS C130』 |
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白色キセノンランプ照明で、RGBの3波長それぞれにコンフォーカル画像を同時に取り込むことにより、色にじみが無い試料が持つ本物の色情報の画像が得られます。 |
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＜用途＞
カラーフィルターの形状測定、顔料、金属材料、マイクロマシンの観察・測定など |
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| ファイブ ライン コンフォーカル顕微鏡 『OPTELICS S130』 |
計測可能な領域を最大限まで拡大する5種類の波長により、多層構造サンプルの表層から内部までが観察可能です。
＜用途＞
フィルム、ガラス、高分子など各種金属材料、化学材料の表面と内部情報の観察や測定など |
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| お問い合わせ |
サンプルをいただければ、サンプル測定いたしますので、コンフォーカル顕微鏡ならではの「リアルカラー」の高精細画像をご覧いただけます。
デモも可能ですので、ご質問・ご要望等ございましたらまずはお問い合わせ下さい。 |
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