3CCDリアルカラーコンフォーカル顕微鏡 OPTELICS H1200
レーザーテック株式会社
3CCDリアルカラーコンフォーカル顕微鏡 OPTELICS H1200 3CCDリアルカラーコンフォーカル顕微鏡 OPTELICS H1200
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コンフォーカル顕微鏡初「3ラインCCD」 資料請求


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3CCDリアルカラーコンフォーカル顕微鏡「OPTELICS H1200」は、高精細で正確な観察画像取得のために、 受光システムに大画素数CCD3素子を配置して3CCD(RGB)とした結果、 リアルカラーの高精細コンフォーカルHD画像を取得可能としました。 3CCD(RGB)の搭載により色再現性の高い画質に加え、サンプル表面の細やかな情報も繊細な画像としてディスプレイ上に再現されます。

また、画像取得速度も大幅に改善し、測定時間を当社従来機比で1/4に短縮しました。 合わせてデータ転送にも改良が施され、大容量のRGB画像データが転送でき、RGBそれぞれの波長による測定データが同時に作成できます。
ヨウ化カドミウムの柱結晶を撮影
レンズ倍率20×(ズーム3×)
ヨウ化カドミウム 柱結晶の動画
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自己検知型AFMカンチレバー
自己検知型AFMカンチレバー
光拡散板
光拡散板
ICパターン
ICパターン
基板
基板
バンプ
バンプ
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特徴
・ RGB3CCD素子の2048×2048画素、計1200万画素によるリアルカラーコンフォーカル画像
・ 可変フレーム機能(Variable Frame Rate)による最速120フレーム/secの走査速度
・ 干渉測定機能(オプション)の付加により垂直分解能0.1nm
・ RGB測定波長の選択機能(1スキャンでRGB3つの測定データを同時取得)
・ 1クリック自動測定機能(3D、表面粗さ2D、表面粗さ3D、プロファイル測定)
・ 傾斜面に強く、表面の凹凸が大きなサンプルでも正確な3次元測定が可能
・ X、Y寸法測定再現性 0.02μm(3σ)、Z測定機能 0.02μm (σ)
・ 多層3D、形状測定、粗さ測定、膜厚測定、パッチワークなど豊富なソフトウェア機能
・ 電動レボルバー、オートフォーカス標準装備
・ CEマーキング、RoHS規制にも適合

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用途
・ 各種材料の観察・計測:
MEMS、NEMS、半導体、液晶パネル関連材料
金属材料、セラミックス材料、化学材料、高分子材料、結晶、生物試料、工業材料 その他

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仕様
解像力 0.15µm
画像表示サイズ 2048(1024)H × 2048(1024)V
フレームレート 7.5フレーム/sec〜120フレーム/sec
XY線幅測定(測定再現性) 0.01µm(3σ)
高さ測定(測定再現性) 0.02µm(σ)

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