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ファイブラインコンフォーカル顕微鏡 S130
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位相シフト干渉システム IF |
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コンフォーカル顕微鏡の高解像度画像と干渉計の高分解能Zデータを同時に取得できます。
コンフォーカル顕微鏡ではZ精度0.1µｍ程度ですが、ナノスケールコンフォーカル顕微鏡「OPTELICS S130IF」は、
位相シフト干渉法との組合せにより、ナノレベルの段差まで測定が可能になります。
mmからnmまでの広いZ方向の測定ダイナミックレンジが測定できます。 |
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S130本体への追加は、以下の4点です。
(1) 二光束干渉レンズ（10x、20x、50x)
(2) Zピエゾ素子
(3) ゴニオステージ
(4) アクティブ防振台 |
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位相シフト干渉測定
干渉縞(λ/2nm)の白→黒を256分割
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二光束干渉レンズのしくみ |
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 特徴 |
・ コンフォーカル顕微鏡の高解像度画像と干渉計の高分解能Zデータを取得
・ Z軸方向で1nm〜15mmまでの測定が可能
・ 干渉測定波長R（630nm）、Y（577nm）、G（546nm）が選択可能
・ 2波長測定モードで測定レンジが拡大
・ サンプル構造により干渉ユニットはレンズ駆動型かステージ駆動型が選択可能
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| 用途 |
・ 各種材料の表面ミクロ構造の観察、計測、評価
ウェハ、各種膜状材料、ガラス表面、結晶、高分子材料、ナノインプリント、その他
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| 仕様 |
| 対物レンズ |
10ｘ、20ｘ、50ｘ |
| 干渉計形式 |
Mirau干渉 |
| 測定原理 |
位相シフト法 （3バケット法、4バケット法、5バケット法が選択可能）
（1波長モード、2波長モードの選択） |
| 測定限界（ｚ軸） |
0.54nm （1波長モード 546nm） |
| 測定波長 |
546nm（Green）、577nm（Yellow）、630nm（Red) |
| 測定レンジ（ｚ軸） |
＜315 nm （1波長モード）、＜5081nm （2波長モード） |
| 位相変調方式 |
ステージ駆動型、対物レンズ駆動型選択可能。（ピエゾ素子使用） |
| 測定環境 |
＜23℃、アクティブ除振台使用 |
| 段差測定再現性 |
σ=0.7nm （60nm） |
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| お問い合わせ |
画像サンプルを表示していますが、ほかにも特徴的な写真が多数あるものの都合上お見せできない事をご了承ください。
サンプルをいただければ、サンプル測定いたしますので、共焦点顕微鏡ならではの「リアルカラー」の高精細画像をご覧いただけます。
デモも可能ですので、まずはお問い合わせ下さい。 |
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