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| Z粗動ストローク150㎜、パネル基板検査のために、門柱型鏡基（ゲート）に3CCDカラーコンフォーカル顕微鏡 H1200ヘッドを取り付けました。 |
大型サンプルに合わせたフレキシブルな設計対応が可能な門型鏡基。
液晶パネルの検査から、太陽電池パネル、300㎜ウエハー、ガラス基板、感光ドラム、重量のある金型に至るまで、
多種多様なサンプルをカバーします。
防振台もパッシブタイプから、干渉測定やAFMなどに備えて、アクティブタイプも選べます。 |
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金属表面3Dと表面形状測定事例 |
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 サンプル測定実例 |
基板
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カラーフィルター
（スペーサーの高さ測定）
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金型（約20kg）
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| 仕様 |
| コンフォーカル顕微鏡 |
| 高さ測定範囲 |
50nm～8000µm |
| 高さ測定再現性 |
(σ)0.02µm |
| XY測定視野 |
180×180µm～3600×3600µm |
| フレームレート |
15Hz～120Hz |
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| X-Yステージ |
| XYストローク |
X300㎜×Y300㎜～X1600㎜×Y1600 |
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| Zストローク |
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大型基板対応ガントリーステージ
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| お問い合わせ |
画像サンプルを表示していますが、ほかにも特徴的な写真が多数あるものの都合上お見せできない事をご了承ください。
サンプルをいただければ、サンプル測定いたしますので、共焦点顕微鏡ならではの「リアルカラー」の高精細画像をご覧いただけます。
デモも可能ですので、まずはお問い合わせ下さい。 |
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