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150㎜、200㎜、300㎜ウェハー用検査のために、
3CCDカラーコンフォーカル顕微鏡 H1200と
小型対物レンズ型AFMとの組み合わせ |
mm～µm～nmまでの領域を全域に渡り測定できます。
アクティブ防振台上のウェハー吸着ステージでサンプルを固定。
コンフォーカル顕微鏡での目標視野合わせから、視野ずれなくプローブ走査範囲へと引き継ぎができます。
プローブの引き込みもスピーディーです。
デュアルモニター（オプション）によるソフトウエアも操作性が良く、AFMとコンフォーカル顕微鏡のデータ処理がストレスなく操作できます。
また、通常の表面形状だけではわからないサンプルの弾性や磁気などの各種オプションモジュールも用意しております。 |
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150㎜､200㎜、300㎜ウェハー兼用
吸着ホルダー |
対物レンズ型AFMユニット |
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 コンフォーカル＆AFM測定事例 |
| サンプル：ウェハーホールパターン |
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オプションの追加により、各種SPMモードに対応させることができ、簡単にそれらを切り替えて使うことができます。
・AFMコンタクトモード（標準）
・AFMノン・コンタクトモード
・磁気力分布
・静電気力分布
・摩擦係数分布
・弾性率分布
・静電容量分布 等 |
Field Mode（Magnetic Force Mode） ハードディスク 5µm×5µm
表面形状 |
磁気力分布 |
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Lateral Force Mode フロッピーディスク 2.5µm×2.5µm
表面形状 |
摩擦係数分布 |
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Force Modulation Mod 高分子フィルム 20µm×20µm
表面形状 |
弾性率分布 |
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| 仕様 |
| コンフォーカル顕微鏡 |
| 高さ測定範囲 |
0.08µm～8000µm |
| 高さ測定再現性 |
(σ)0.02µm |
| XY測定視野 |
3600×3600µm～180×180µm |
| フレームレート |
15Hz～120Hz |
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| AFMユニット |
| 走査範囲 |
20µm（40µm）×20µm（40µm）×2µm（4µm） |
| 分解能 |
XYZ ＜1nm |
| 走査速度 |
16line/sec～0.1line/sec |
| 変位検出系 |
ファイバー式レーザー干渉計 |
| 標準計測モード |
コンタクト、ノンコンタクト、位相 |
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| X-Y精密ステージ |
| 材質 |
グラナイト、低膨張合金 |
| XYストローク |
X350㎜×Y350㎜ |
| 分解能 |
0.01µm |
| 真直度 |
0.5µm |
| 速度変動率 |
±1%（6mm/sec～100mm/sec） |
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| 寸法・重量 |
| 本体部 |
1100×900×1830(W,D,H)㎜ 約550kg |
| 制御部（顕微鏡） |
430×450×100㎜ 約7kg |
| 制御部（AFM） |
450×450×270㎜ 約20kg |
| BOX部 |
1200×800×700㎜ 約20kg |
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| 設置環境 |
| 使用環境温度 |
20℃～25℃ |
| 温度変化率 |
1℃/h以下 |
| 床振動 |
SEMI E6-1296 BBN Criterion D 以下 |
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防音BOX＆アクティブ防振台をセットした標準機
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| お問い合わせ |
画像サンプルを表示していますが、ほかにも特徴的な写真が多数あるものの都合上お見せできない事をご了承ください。
サンプルをいただければ、サンプル測定いたしますので、共焦点顕微鏡ならではの「リアルカラー」の高精細画像をご覧いただけます。
デモも可能ですので、まずはお問い合わせ下さい。 |
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