 |
コンフォーカル顕微鏡 H1200の
高速フレームレートを活かした自動検査機。 |
簡単なアライメント操作で測定場所を特定。
また、ワンタッチで指定ポイントを中心位置へ移動できます。
計測レシピの作成もよりわかりやすくなりました。
計測画面の自動保存や、CSV形式で測定結果やマップの出力が可能です。 |
 |
|
|
 自動測定ソフト リブラ（LIBRA） |
・パターンの高低、幅、粗さの計測項目を選択。
・視野内の計測範囲の設定も自在。
・パターンマッチングにより、測定場所の特定が可能に。
・指定計測ポイントの座標に移動後詳細をレビュー。
・バンプ、液晶パネルのリブ測定、MEMSパターン、素材の表面粗さの測定に。
|
高さ測定レンジ10µmの測定時間目安
| 対物レンズ |
NA（開口数） |
視野（µm） |
WD（作動距離） |
スキャンタイム |
| 10xLT |
0.5 |
1800×1800 |
1.6㎜ |
5sec×N |
| 20xLT |
0.75 |
900×900 |
0.70㎜ |
5sec×N |
| Apo50x |
0.95 |
360×360 |
0.35㎜ |
10sec×N |
|
| ▲このページの上へ |
|
|
| 自動検査ソフト アルゴス（ARGOS） |
・セルシフト検査、Die to Die検査、の検査方法を選択。
・レビュー機能によって、ゴミ、キズの凹凸判定可能。
・最大欠陥3000ポイント測定。
・マスク、ウエハー、ガラス、プラスティックなどあらゆる基板に。
|
 |
【基準画像】
 |
【検査画像】
 |
| 基準画像と検査画像の比較を行い、画像の信号差が設定値を越え、
指定したピクセル数より大きい個所を欠陥としている。 |
|
50mm×50mmの検査時間目安
| 対物レンズ |
NA（開口数） |
視野（µm） |
ピクセル分解能（µm） |
検査時間 |
| 5xLT |
0.25 |
3600×3600 |
3.52（標準モード） |
2分 |
| 10xLT |
0.5 |
1800×1800 |
1.76（標準モード） |
10分 |
| 20xLT |
0.75 |
900×900 |
0.879（標準モード） |
35分 |
|
| ▲このページの上へ |
|
|
| お問い合わせ |
サンプルをいただければ、サンプル測定いたしますので、共焦点顕微鏡ならではの「リアルカラー」の高精細画像をご覧いただけます。
デモも可能ですので、まずはお問い合わせ下さい。 |
 |
