・	5種類の波長からサンプル、目的に合った波長を選択できます。
・	照明波長を選択する事によって多層構造サンプルの表層から内部までが観察可能です。
・	多層構造サンプルから、各層それぞれの3次元画像を構築し観察することが可能です。
・	405nm（紫色）を選択することで、高い解像力が得られます。
・	圧倒的に高いXY測定再現精度と長期安定性を実現しています。
・	カラー画像の取り込みはR,G,Bそれぞれ130万画素の3フレームの画像を合成することにより、高精細を実現しました。
・	多層3D、形状測定、粗さ測定、膜厚測定、パッチワークなど豊富なソフトウェア機能を装備しています。
・	高速モードは、最高毎秒110フレームを実現しました。
・	Z軸方向の移動には電動操作ノブを装備し、操作が簡単です。
・	電動レボルバーを標準装備しており、対物レンズ切り替えをコンソールから操作できます。
・	オートゲイン、オートフォーカス機能を搭載し、作業性が向上しています。
・	顕微鏡本体はコンパクトで高剛性、しかも除振機能を内蔵しているので、床振動に強く設置環境に影響されることなく安定した観察、測定が行なえます。