イ−スト・テクノロジ−株式会社

EAST-2000X-200


★　”脱ＣＯ２”　環境プロセスを重視する次世代型光アッシングとオゾン水や減圧乾燥装置等に依り 卓越したハイスペック（パーティクルが０.１μｍ・１０個以下）を目指す超精密洗浄装置の開発に 　　イ−スト・テクノロジ−社は次世代の半導体デバイス工程に於いて限りなく挑戦し続ける決意が 　　精密洗浄装置メ−カ−のパイオニアです。
★　精密洗浄装置メ−カ−のイ−スト・テクノロジ−社が全自動枚葉式スピン超音波洗浄装置で驚異的な洗浄能力と 　　ハイスループット が可能になりました。 ★　精密洗浄装置メ−カ−のイ−スト・テクノロジ−社の全自動枚葉式スピン超音波洗浄装置は、 　　手動・全自動共にシリコンウエハー及びSiC・サファイア等のCMP後の精密洗浄に最適なプロセス性能を向上し、 　　ランニングコストの低減、優れた操縦性を実現し、プログラム・レシピ対応型の精密洗浄装置です。






　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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★　驚異的な新規装置の開発能力！とシステム・コンサルティング　ビジネス能力！






そ　の　１　：
☆★水晶振動子＆水晶発振器＆SAWデバイスの自動高周波誘導真空加熱溶着装置

　　　　　　　　　　　　　　　

そ　の　２　：
☆★驚異的な スループット：15sec〜18sec が可能なスモ−ル・パッケ−ジサイズの
　　NEW”EAST-2000X-500”ライン型カセット・ツ−・カセット方式の全自動枚葉式スピン
　　超音波洗浄装置

☆★全自動枚葉式インライン対応型で光アッシングとオゾン水や減圧乾燥装置等がビルト・インされた
　　卓越したパ−ティクル・スペックを持った超精密洗浄装置も開発可能とする次世代型超精密洗浄装置

そ　の　３　：
☆★η-DETECTOR（ナノ-デテクタ−）はSiC&サファイアガラス表面のキズ検出画像処理装置と平坦度と
　　平面度測定装置


　　 　 　　 　　　 　　 　 　　　 　　　 　　 　　 　 　 洗浄後のキズ検出と平坦度＆平面度


　


　　 　



　

　



洗浄後のバンプ


　　

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