アルゴン又はヘリウムガス中のppbレベルオンライン窒素測定 

概要

カナダのLDetek社から新たにラインアップされたアルゴン又はヘリウム中の超微量(ppbレベル)窒素
のオンライン分析装置です。近年、特に半導体業界を始めとして、超純度のアルゴン又はヘリウムを
要望されていますがそれに対応する分析装置です。ppbレベルの正確な窒素濃度をオンラインで連続測定
が可能です。アルゴン又はヘリウムの純正化後に又は供給時にそのガスの品質保証の測定器として役立ち
ます。本分析装置は新プラズマ発光検出器を搭載し、長寿命で、操作も簡単でその目的のプロセス分析計と
して最適な性能を備えています。

                              
特徴

◆Duty Cycle Contorolled(パルス制御)に基づく新プラズマ発光検出器(特許)を装備する。
◆検出器の寿命並びに正確性が従来のプラズマ発光法を超える。　　
◆ppbレベルの窒素を測定する事が可能。
◆アルゴン又はヘリウムガスに適用できる。両用モデルも選択可能。
◆独自ミニバルブを装備しデッドボリウムが少なく、パージ時間が短く、応答速度が速い。　
◆マイコン制御による自動操作で、消耗品、保守管理を必要としない。
◆4-20mA出力端子、LAN/WEB端子は標準装備。              　　　
◆消費試料ガス量が少ない(通常は25-75ml./min)。
◆小型で標準ラック(3U)に懸架できる。

  
分析装置の内容

＊検出器タイプ：Duty Cycle制御システムに基づく新プラズマ発光検出器
＊ガス接続　　：試料ガス注入口:1/8"VCR, 排出口：1/8"圧力継手    
＊電源　　　  ：100 VAC, 50-60Hz, 消費電力 最大70 W 
＊大きさ、重量：133mm(高）482mm(幅）375mm(奥), 17 Kg
＊標準装備　　：5.6"TFT,LCD 表示器(タッチパネル)
　　　        　自己診断システム、ユーザ選択可能な手動又は自動レンジ設定
      　　　    4-20mA 外部接続端子、遠隔モニター用デジタル端子
＊オプション　：RS-232/422/485用シリアル端子、2点設定アラーム出力等

性能

○標準測定レンジと：0〜100  ppb　 分解能:0.1 ppb　
         　　　　　 0〜500  ppb 　 　　  1.0 ppb　
            　　    0〜5000 ppb          10  ppb
        　　その他レンジも選択可能(オプション)
○再現性　　　：使用レンジの0.2%以下   
○正確性　　　：使用レンジの±0.5%より良好　　
○ドリフト　　：使用レンジの±0.5%以下/24時間
○要求試料流量：15〜200 ml/min.
○最大操作圧　：20 PSIG(689 kPAG)
○最低操作圧  ：10 PSIG(28 kPAG)
○操作温度　　：10〜45℃可能。但し一定温度で安定。
○校正ガス　　：ゼロ　；小型精製器(LDP1000)による精製ゼロガス。
　　　          スパン；使用レンジの80-95%レベルの標準ガス。 

利用分野

◇空気分離プラント　            ◇アルゴン純正化プラント。
◇特殊ガス研究室　　　　　　 　 ◇ガスボンベ充填時の品質管理
◇プロセスコントロール          ◇ヘリウム液化プラント　
◇半導体製作工場及び研究室      ◇化学プラント 
◇ガス管理システム

      
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