上柿順一の論文リスト

上柿順一：最近の論文・解説・学会活動

１） Application of Continuous Mltiple Loading with Spherical-tip Nano-
　　indentation to Mechanical Property Evaluations of Industrial Materials
　　I. Ihara、T.Matsumoto、Y.Yajima、J.Uegaki and Y.Shima
　　IMECO 2010 TC3 and TC22 Conferences Metrology in Modern Context
　　Nov. 2010, Pattaya, Chonburi, Thailand.

２）超微細加工用125kV電子ビーム描画装置
　　土田智之、小若裕則、布川博、上柿順一
　　（独）日本学術振興会　荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会　
　　第191回研究会資料（2010年7月30日）ｐ．28

３）高加速電圧電子線描画装置
　　田口佳男、布川博、上柿順一
　　（独）日本学術振興会　荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会　
　　第189回研究会資料（2010年1月29日）ｐ．31

４） Development of Ni‐P-Plated Inconel Alloy Mold for Imprinting on Pyrex Glass.
　　H.Mekaru、C.Okuyama、T. Tsuchida、M. Yasui、T.Kitadani、M. Yamasita、J.Uegaki and M. Takahashi
　　Japanese Journal of Applied Physics 48 (2009) 06FH06 　

５） Micro Lens Imprinted on Pyrex Glass by using Amorphous Ni‐P Alloy Mold.
　　H. Mekaru、T. Tsuchida、J.Uegaki、M. Yasui、M. Yamasita and M. Takahashi
　　Microelectronic Engineering 85 (2008) 873 - 876.

６）集束イオンビームを利用した超高精度ナノ加工装置とその応用
上柿順一、土田智之、吉野修司、篠塚聡哉、本目精吾、*井原郁夫
（独）日本学術振興会　荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会　
　　第175回研究会資料（2007年1月26日）ｐ．17

７） Focused Ion Beam System equipped with 3D-CAD for Nano-scale Fabrication
     J. Uegaki、T. Tsuchida、S. Yoshino、T. Shinotsuka、and S. Honme
     International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2006 Digest of
    Papers p.108

８） Micro Press Molding of Borosilicate Glass using Plated Ni-W Molds
     M.Yasui, M.Takahashi, S.Kaneko, T.Tsuchida, Y.Hirabayasi, K.Sugimoto, J.Uegaki
    and R. Maeda
    Japanese Journal of Applied Physics Vol.46, No.9B, （2007） pp.6378 - 6381.

９）エリオニクスのＥＢ描画装置
上柿順一
Electronic Journal 2005年6月号　ｐ．106　特集：ナノ加工技術・装置・部材

10） Active Shielding Suitable for Electron-Beam Lithography Systems.
　　K. Yamazaki, K. Kato, K. Ashiho, T. Uda, K. Fujiwara, N. Takahashi, A. Haga, T. Sato, J.Uegaki and Y. Sakuma
　　IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, Vol. 39, No.5,（2003） 3229．

11）ナノ電子ビーム描画装置とその応用技術
上柿順一
　　　日本学術振興会　荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会　
　　　第2回ナノビームテクノロジーシンポジウム技術研究会資料（ 2001年12月13～14日）
　　　ｐ．39

12）高加速電界放射型電子線描画装置の開発
　本目精吾、上柿順一、村山芳昭、布川博、伊藤太朗
　機械振興　2000年3月号、ｐ．38　　特集／第30回中堅・中小企業新機械開発賞　　
　　　（財）機械振興協会

13）メーカー側から見た電子線描画装置の動向
上柿順一
日本学術振興会　荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会　
　　第2回ナノビーム技術研究会資料（ 1997年5月15～16日）ｐ．68

14） Performance of a Compact ECR Ion Source
　　 J.Uegaki
　　 Proc. 12th Symp. On ISIAT’89, Tokyo (1989)

学術論文リスト

１） Development of Ni‐P-Plated Inconel Alloy Mold for Imprinting on Pyrex Glass.
　　H.Mekaru、C.Okuyama、T. Tsuchida、M. Yasui、T.Kitadani、M. Yamasita、J.Uegaki and M. Takahashi
　　Japanese Journal of Applied Physics 48 (2009) 06FH06

２） Micro Lens Imprinted on Pyrex Glass by using Amorphous Ni‐P Alloy Mold.
　　H. Mekaru、T. Tsuchida、J.Uegaki、M. Yasui、M. Yamasita　and　M. Takahashi
　　Microelectronic Engineering 85 (2008) 873 - 876.

３） Micro Press Molding of Borosilicate Glass Using Plated Ni-W Molds.
　　M.Yasui, M.Takahashi, S.Kaneko, T.Tsuchida, Y.Hirabayasi, K.Sugimoto, J.Uegaki
　　and R. Maeda
　　Japanese Journal of Applied Physics Vol.46, No.9B, （2007） pp.6378 - 6381.

４） Active Shielding Suitable for Electron-Beam Lithography Systems
K. Yamazaki, K. Kato, K. Ashiho, T. Uda, K. Fujiwara, N. Takahashi, A. Haga,
　　T. Sato, J.Uegaki and Y. Sakuma
　 IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, Vol. 39, No.5,（2003） 3229．

５） Measurement of the Neutrons Emitted in the Proton-induced Fission of 209Bi
　　and 238U at 475 MeV.
　　Z.Fraenkel，A.Breskin，R.Chechik，S.Wald，R.Abegg，H.W.Fielding，P.Kitching，
　　S.T.Lam，G.C.Neilson，W.C.Olsen and J.Uegaki
　　Physical Review C41（1990）1050.

６） Angular Distribution of Cross Section and Analyzing Powers for the Reaction
　　pd → tπ+　at 425, 450, 475 and 500 MeV.
　　R.Abegg, D.A.Hutcheon, C.A.Miller, J.M Cameron, C.A.Davies, G.A.Moss, W.C.Olson,
　　G.Roy, J.Uegaki, J.Arvieux, I.J. van Heerden and A.H.Hussein.
　　Physics Letters. B218 (1989) 436.

７） Emittance Growth Due to Hydrogen Ionization by Charge Exchange in a Solenoid.
W.M.Law，C.D.P.Levy，P.W.Schmor and J.Uegaki
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A263（1988）537.

８） Excitation of 12C + 12C "Quasimolecular" Resonances by Inelastic Scattering
　　of 190 MeV Proton from 24Mg.
　　C.A.Davis，G.A.Moss，G.Roy，J.Uegaki，R.Abegg，L.G.Greeniaus， D.A.Hutcheon
　　and C.A.Miller
　　Physical Review C35（1987）336.

９） A Test of Time Reversal Invariance in p-p Elastic Scattering at 198.5 MeV.
　　C.A.Davis，L.G.Greeniaus，G.A.Moss，D.A.Hutcheon，C.A.Miller，R.Abegg，A.W.Stetz，
　　W.C.Olsen，G.C.Neilson，J.Roy and J.Uegaki
　　Physical Review C33（1986）1196.

10） Cross Section and Analizing Powers for the Reaction ｐ3H → γ4He at Ep = 227，
　　　300 and 375 MeV.
J.Thekkumthala，J.M.Cameron，C.A.Davis，P.Kitching，J.Pasos，J.Soukup，
　　　J.Uegaki，H.S.Wilson，R.Abegg，D.A.Hutcheon，C.A.Miller，A.W.Stetz and A.H.Hussein
　　　Nuclear Physics A455（1986）687.

11） Measurement of the Electron Spin Transfer Efficiency in an Optically Pumped H¯ Ion
　　　Source.
　　　J.Uegaki，P.W.Schmor，C.D.P.Levy and Y.Mori
Physics Letters 115A（1986）216.

12） Analyzing Powers in the →np → dγ Reaction at 185 and 270 MeV.
　　　R. Abegg, J.M. Cameron, C.A. Davies, N.E. Davidson, G.W.R. Edwards, H.W. Fielding,
　　　G. Gaillard, M. Hindi, A.H. Hussein, D.A. Hutcheon, M. Hugi, P. Kitching, C.A.Miller,
　　　W.J. McDonald, D. Ramsay, Y.M. Shin, J. Soukup, N. Stevenson, J. Uegaki,
　　　I.J.van Heerden and H.S. Wilson.
　　　Bull. Am. Phys. Soc. 30 (1985) 697.

13） Analyzing Powers in the np → dγ Reaction at 180 and 270 MeV.
　　　J.M.Cameron， C.A.Davis， H.Fielding， P.Kitching， J.Soukup，J.Uegaki，
　　　J.Wesick，H.S.Wilson，R.Abegg，D.A.Hutcheon，C.A.Miller，A.W.Stetz， Y.M.Shin，
　　　N.Stevenson and I.J. van Heerden.
　　　Physics Letters 137B（1984）315.

14） A measurement of the Wolfenstein R Parameter in Proton－4Helium Elastic
　　　Scattering at 500 MeV.
G.A.Moss，C.A.Davis，J.M.Greben，L.G.Greeniaus，G.Roy， J. Uegaki，R.Abegg，
　　　D.A.Hutcheon，C.A.Miller and W.T.H.van Oers.
　　　Nuclear Physics A392（1983）361.

15） A Study of the Decay Modes of the g9/2 and i11/2 Isobaric Analog Resonances 　
　　　in 209Bi using Electrons and Bremsstrahlung.
　　　J.Uegaki，K.Shoda，M.Sugawara，T.Saito and H.Tsubota.
Nuclear Physics A371（1981）93.

16） High Resolution High Energy Telescope Counters for（γ，charged particles）
　　　Reaction Studies.
J.Uegaki，L.O.Dallin，Y.M.Shin and C.Y.Kim
Nuclear Instruments and Methods，179（1981）55.

17） Charged Particle Photoemission from 42Ca.
　　　R.E.Pywell，M.N.Thompson，K.Shoda，M.Sugawara，T.Saito，H.Tsubota，H.Miyase，
　　　J.Uegaki，T.Tamae，H.Ohashi and T.Urano.
Australian Journal of Physics 33（1980）685.

18） The T> GDR and the Characteristic Decay Mode by the（e，p）Reaction on 139La
　　　and 141Pr.
J.Uegaki and K. Shoda
Nuclear Physics A341（1980）125.

19） The（γ po）Reactions in the Giant Dipole Resonance Region of 51V and 52Cr
H.Tsubota，S.Oikawa，J.Uegaki and T.Tamae
Nuclear Physics A321（1979）157.

20） The Reaction 15N(e，to) between 20 and 25 MeV.
　　　J.Uegaki ，J.Asai，M.K.Leung，J.J.Murphy，II，Y.M.Shin and D.M.Skopik
　　　Canadian Journal of Physics 57（1979）1059.

21） Electroproduction of Alpha Particles from Various Nuclei Showing Direct and
　　　Statistical Effects.
J.J.Murphy，II，D.M.Skopik，J.Asai and J.Uegaki
Physical Review C18（1978）736.

22） Isospin Effects in the Giant Dipole Resonance Region of 51V and 59Co.
　　　H.Tsubota，S.Oikawa，J.Uegaki and T.Tamae
　　　Nuclear Physics A303（1978）333.

23） Study of the f7/2 Ground Isobaric Analog Resonance in the（e，e'p）Reaction
　　　on 139La and 141Pr.
J.Uegaki and K.Shoda
Nuclear Physics A294（1978）141.

24） The T>Giant Resonance of 181Ta.
　　　A.Suzuki，K.Shoda，M.Sugawara，T.Saito，H.Miyase， S.Oikawa，J.Uegaki，
　　　M.N.Thompson，K.J.F.Allen，H.J.Askin and B.N.Sung
Nuclear Physics A257（1976）477.

25） Photoproton Cross Section for 19F.
　　　H.Tsubota，N.Kawamura，S.Oikawa and J.Uegaki
Journal of the Physical Society of Japan 38（1975）299.

26）（γ,p）Cross Sections and Isospin Splitting of the Giant Dipole Resonance
　　　in N = 50 Nuclei.
K. Shoda，H. Miyase，M.Sugawara，T.Saito，S.Oikawa，A.Suzuki and J.Uegaki
Nuclear Physics A239（1975）397.